BPS型瑞士Levitronix流量控制器專為微電子濕式應用中精細流體的超純處理而設計。基于主動磁懸浮，泵葉輪懸浮并由電機磁場驅動。寬間隙確保運動部件之間沒有機械接觸，因此不會磨損。沒有軸承磨損或密封件損壞。

葉輪和外殼均由耐化學腐蝕的高純度含氟聚合物樹脂制成。通過電子調節葉輪速度來精確控制流體流量和壓力。

   BPS型瑞士Levitronix流量控制器優勢如下：

事實

由于止回閥、波紋管或隔膜等運動部件的機械接觸而產生的摩擦會導致磨損。磨損會導致顆粒脫落，從而導致晶圓缺陷。

測試條件

對來自四個不同制造商的十臺泵在多種測試條件下運行期間的超純水中顆粒脫落情況進行了評估。選擇測試條件以便可以在典型操作條件下對組中的所有泵進行比較。

結果

無論泵的運行條件如何， Levitronix ®泵在所有評估的泵中始終排出最少的顆粒。在所有測試中，Levitronix ®泵下游測得的顆粒濃度非常接近系統中沒有測試泵時測得的濃度。

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